352535-01-4 四(乙基甲基氨基)铪(IV)

危险品运输编号UN 3398，危险等级4.3，包装类别II。危险描述：急性毒性类别4（经口），严重眼损伤类别1，易燃液体类别2，皮肤腐蚀类别1B，特异性靶器官毒性-一次接触类别3，与水接触释放可燃性气体。WGK Germany:3，TSCA listed，海关编码2921199990，存储类别4.3-危险物。

四双(乙基甲基氨)铪(IV)是化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺生长氮化铪或氧化铪的关键原材料。

化学气相沉积(CVD); 原子层沉积