- 英文名称
- 1,2,3,4-Tetrachlorohexafluorobutane
- 分子式
- C4Cl4F6
- 分子量
- 303.85
- 中文别名
- 六氟-1,2,3,4-四氯丁烷; 1,2,3,4-Tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluorobutane; Perfluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane; Butane,1,2,3,4-tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluoro-; 1,2,3,4-tetrachlorohexafluoro-butane; 1,2,3,4-tetrachloroperfluorobutane; 1,2,3,4-Tetrachlor-hexafluor-butan; Butane, 1,2,3,4-tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluoro-; Butane,1,2,3,4-tetrachlorohexafluoro
- 用途
- 1,2,3,4-四氯六氟丁烷是六氟-1,3-丁二烯的主要合成原料，而六氟-1,3-丁二烯作为半导体加工使用的蚀刻气体备受关注，其能够对100nm、甚至更窄的宽度进行蚀刻，并具有很高的精准性。
