12007-07-7 硼化钽

WGK Germany:3，TSCA listed，存储类别:11 - 可燃固体

硼化钽薄片和晶体因维氏硬度30GPa，700℃以下耐氧化和酸腐蚀，性质稳定，可用作高温材料和磨料。

高温材料; 磨料

路线1：单晶制备

• 方法：采用区域熔炼法可制得TaB、Ta5B6、Ta3B4或TaB2单晶（直径约1cm，长度约6cm）。

路线2：薄片沉积

• 方法：使用TaCl5-BCl3-H2-Ar混合气体在540~800°C范围内沉积硼化钽薄片；
• 条件：当源气流量比（BCl3/TaCl5）为6，温度在600°C以上时沉积TaB2（单晶）；当BCl3/TaCl5 = 2/4，温度在600-700°C时沉积TaB（单晶）。