17475-67-1 乙酰丙酮铪

常温运输，非危险化学品，TSCA无相关信息。

乙酰丙酮铪为白色结晶状粉末，易溶于甲醇、乙醇、氯仿、苯、甲苯、乙醚等常规有机溶剂，遇水水解，升华温度193°C，是MOCVD制备HfO₂涂层和薄膜的理想前驱体，其制备的HfO₂薄膜具有高熔点（约2758°C）、高介电常数（约25）等优异性能，在高温保护涂层、光学涂层、栅介质材料、传感器等领域应用前景广阔，尤其可替代传统SiO₂栅介质材料。

高温保护涂层；光学涂层；栅介质材料；传感器；MOCVD制备HfO₂涂层和薄膜

路线1：

• 步骤: 将HfO₂溶于氢氟酸中，同硝酸一起蒸干，将固体物质溶于水中，制得金属盐的水溶液；按照Hf(acac)₄的组成，将化学计量的乙酰丙酮溶于苯中，制得乙酰丙酮的有机溶液。
• 条件: 混合上述水溶液和有机溶液，激烈搅拌下慢慢滴加稀NaOH水溶液，使溶液pH值达到5～7，络合物从有机相中析出，用无水苯或其他有机溶剂进行重结晶。

（注：原始数据中路线1与路线2步骤基本一致，仅表述略有差异，此处合并为一条路线）