13709-61-0 四氟化氙

危险品运输编号:UN 3087 5.1/PG 2，危险等级5.1，包装类别I，WGK Germany:3，RTECS号:ZE1294166，F:1-10

作为强氧化剂和氟化剂，在水溶液中氧化溴酸钠生成高溴酸钠；非水溶液中选择性氟化有机/无机化合物，释放氙可循环利用；核工业中与氧化铀反应分离铀-235；新材料制备如氟氮双掺氧化石墨烯等；化学气相工艺中对硅表面刻蚀，制备气相刻蚀阻挡层，去除硅牺牲层，应用于MEMS蚀刻，避免表面张力、气泡及粘附问题，适用于小孔/狭窄空间蚀刻（如25nm通孔）。

有机氟化物制备; 无机氟化物制备; 核工业铀分离; 新材料制备; 微电子MEMS蚀刻工艺

合成方法：以氙（Xe）和氟（F₂）为原料，在加热条件下反应制得。