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用途与制备
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴（CCTBA）是几种用于制造设备重要功能层的含钴CVD/ALD前体之一，是制备钴金属、氮化钴、钴硅化物等的重要前驱体，特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用，具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下，钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。
设备功能层制造（CVD/ALD前体）；钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层制备
