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安全说明
危险品运输编号UN 2920 8/PG 2,WGK Germany 3,RTECS号VV5455500,TSCA listed,危险等级4.3,包装类别II。毒性LD50 orl-rat: 1670 mL/kg。
用途与制备
四(二甲基氨基)硅烷是在分子内具有硅原子与氮原子的化合物,近年来在半导体绝缘膜材料或硅晶片表面的超斥水化剂等电子信息材料领域中具有广泛应用。
电子信息材料