15112-89-7 三(二甲胺基)硅烷

危险品运输编号:1993（UN 1993）。危险性类别：急性毒性（经皮、吸入类别3，经口类别4），严重眼损伤类别1，易燃液体类别2，皮肤腐蚀类别1B，水-反应性类别2。毒性数据：兔经皮LD50 477mg/kg，可致肝、肺等器官损伤。存储类别4.3-，与水接触释放可燃性气体。WGK Germany:3，RTECS号VV5800000，TSCA listed。

三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源，具有较好的稳定性、较高的蒸汽压和相当高的反应性，是目前ALD方法沉积SiO₂研究的热点。

ALD方法沉积SiO₂

• 步骤: 在惰性气氛保护下，反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，加入有机锂化合物制得二甲胺的锂盐；向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，得到三(二甲胺基)硅烷。
• 条件: 惰性气氛保护