15112-89-7 三(二甲胺基)硅烷

中文名称: 三(二甲胺基)硅烷
英文名称: Tris(dimethylamino)silane
CAS号
分子式: C₆H₁₉N₃Si
分子量: 161.32
更新日期: 2026-06-23

名称和标识

中文名: 三(二甲胺基)硅烷
英文名: Tris(dimethylamino)silane
CAS号: 15112-89-7
分子式: C6H19N3Si
分子量: 161.32
中文别名: 三(二甲基氨基)硅烷; 三(二甲氨基)硅烷; 三(二甲胺)硅; N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
英文别名: n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethyl-silanetriamin; n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethylsilanetriamine; N,N,N’,N’,N’’,N’’-hexamethyl-Silanetriamine; N,N',N''-(Silanetriyl)tris(dimethylamine); N,N',N''-Silanetriyltris(dimethylamine); Tris(dimethylamido)silane

物化属性

LogP: 1.10
PSA: 9.72
储存条件: 密闭于阴凉干燥环境中
外观: 无色至淡黄色液体
密度: 0.838 g/cm³
折射率: 1.4247
敏感性: air sensitive, moisture sensitive
水溶解性: Slightly soluble (1.6 g/L) (25 °C)
沸点: 145-148 °C (765 Torr)
熔点: <-90 °C
稳定性: 遵照规定使用和储存则不会分解
闪点: 25 °C

安全信息

安全说明

危险品运输编号:1993（UN 1993）。危险性类别：急性毒性（经皮、吸入类别3，经口类别4），严重眼损伤类别1，易燃液体类别2，皮肤腐蚀类别1B，水-反应性类别2。毒性数据：兔经皮LD50 477mg/kg，可致肝、肺等器官损伤。存储类别4.3-，与水接触释放可燃性气体。WGK Germany:3，RTECS号VV5800000，TSCA listed。

生产及用途

用途与制备

三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源，具有较好的稳定性、较高的蒸汽压和相当高的反应性，是目前ALD方法沉积SiO₂研究的热点。

ALD方法沉积SiO₂

步骤: 在惰性气氛保护下，反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，加入有机锂化合物制得二甲胺的锂盐；向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，得到三(二甲胺基)硅烷。
条件: 惰性气氛保护

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