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安全说明
运输信息：常温运输。危险描述：危险品运输编号UN 1993 3/PG 2，WGK Germany:1，TSCA listed，危险等级3，包装类别II，存储类别3-易燃液体，危险性类别易燃液体类别2。
用途与制备
用于微电子学所用SiO₂的化学气相沉积的试剂；作为沉积金属硅酸盐膜的硅源，用于形成电子器件中高k电介质的金属硅酸盐（金属优选铪、锆或其混合物），介电常数可基于膜中金属、硅、氧的相对原子浓度调节。
微电子学
