1590-87-0 乙硅烷
词条详情加载中…
词条详情加载中…
安全说明
危险品运输编号UN 2203,危险类别2.1。危险性描述:H220(极易燃气体)、H280(含有加压气体,加热可能爆炸)、H312(与皮肤接触有害)、H315(造成皮肤刺激)、H319(造成严重眼刺激)、H332(吸入有害)、H334(吸入可能导致过敏或哮喘症状)、H335(可能引起呼吸道刺激)。防范说明:P210(远离热源/火花/明火/热表面)、P261(避免吸入粉尘/烟雾/气体)、P280(戴防护手套/护目镜/防护面具)、P305+P351+P338(眼睛接触后立即用大量水冲洗并就医)、P342+P311(如感觉不适,立即呼叫解毒中心或就医)、P410+P403(存放在通风良好处,远离热源)。危险标志:GHS02(易燃气体)、GHS04(加压气体)、GHS07(健康危害)、GHS08(致癌性)。
用途与制备
乙硅烷是有毒无色易燃气体,硅-硅键弱不稳定,可作氢源。用于生产非晶硅(640℃分解沉积),控制SiC热分解石墨烯生长中Si蒸气压力;在太阳能电池生产中沉积速度快且温度低200-300℃;离子注入中作离子源效果优于其他气体;用于半导体外延、扩散工艺及电子照相感光鼓。
太阳能电池; 感光转筒; 非晶硅膜; 外延成长; 氧化膜; 氮化膜; 化学气相沉积; 离子注入; 半导体工艺; 电子照相用感光鼓
路线1:硅烷原料气放电法
路线2:甲硅烷辉光放电法
路线3:硅化镁法
路线4:六氯乙硅烷还原法