2748-88-1 米吡氯铵

运输信息：冰袋运输。危险描述：非危险化学品，TSCA listed，大鼠腹腔注射LD50为7500ug/kg（7.5mg/kg）。

在湿式蚀刻或干式蚀刻之后的洗涤工序中，使用含有选自具有碳原子数12、碳原子数14或碳原子数16的烷基的咪唑鎓卤化物、具有碳原子数14或碳原子数16的烷基的吡啶鎓卤化物和具有碳原子数16或碳原子数18的烷基的卤化铵中的至少一种及水的用于抑制微细结构体的图案倒塌的处理液。其中由氧化硅形成的微细结构体为半导体装置或微机械。

半导体制造; 微机械制造