13709-36-9 二氟化氙

运输信息：常温运输。危险描述：危险品运输编号UN 3087 5.1/PG 2，WGK Germany:3，RTECS号ZE1294166，F:1-10，Hazard Note:Oxidising Agent，TSCA listed，危险等级5.1，包装类别II，海关编码28129019，存储类别5.1B - 氧化性危险物质，危险性类别：急性毒性 类别1 吸入，急性毒性 类别3经口，严重眼损伤 类别1，氧化性固体 类别2，皮肤腐蚀 类别1B

作为氟化剂;在电子工业中用作硅的蚀刻气体，XeF2和硅自发反应，通过自由扩散到硅衬底表面与硅原子反应生成气态Xe和气态SiF4，实现对硅的腐蚀，具有高选择性

化学合成;材料科学;电子工业

路线1：光化学合成法

• 装置：反应装置由储存室、带蓝宝石窗的反应室及镍管回路组成，U形管下端置于-78℃冷浴中。
• 光源：高压汞弧灯，经滤光池滤光后波长270nm的光达75%，聚焦后透过蓝宝石窗射入反应室。
• 反应条件：通入氟和氙的混合气体，开启光源反应；反应结束后接入真空系统抽除未反应气体，XeF2留在冷冻U形管，经分馏提纯。

路线2：加热合成法

• 装置：耐蚀镍铜合金圆柱形反应器，通过耐蚀镍铜合金阀连接真空系统。
• 反应条件：干燥并抽真空后导入Xe/F2比1.3～2.0∶1的混合气体，总压力≤450kPa；400℃保温2h，急速冷却后真空蒸馏分离产品；室温真空敞开放置2-3次除挥发性杂质。