25817-87-2 氮化铪
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安全说明
WGK Germany:3;TSCA listed
用途与制备
氮化铪是重要难熔化合物铪合金的重要组分,具有优异的力学、电学、光学、耐高温和耐腐蚀等特性,在机械制造和微电子等领域具有非常重要的应用;纳米氮化铪可广泛应用于半导体、光电和机械加工等众多领域;纳米氮化铪膜有望成为高效的光学窗口增透保护涂层材料,应用于航空航天关键光学器件。
机械制造; 微电子; 半导体; 光电; 航空航天光学器件
路线1:铪与氮直接反应
路线2:铪卤化物与氨/氮氢混合气体反应