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安全说明
危险等级为IRRITANT(刺激性),海关编码为2903779090
用途与制备
1,2,3,4-四氯六氟丁烷是六氟-1,3-丁二烯的主要合成原料,而六氟-1,3-丁二烯作为半导体加工使用的蚀刻气体备受关注,其能够对100nm、甚至更窄的宽度进行蚀刻,并具有很高的精准性。
半导体加工