27804-64-4 双(二乙基氨基)硅烷

运输信息：常温运输。危险描述：非危险化学品。

化学合成；作为ALD膜的前驱体材料。

化学合成; ALD膜前驱体材料

路线1：氯硅烷与二烷基胺反应合成

• 步骤: 氯硅烷与二烷基胺反应合成二烷基氨基硅烷（目标产物），副产二烷基胺的盐酸盐及金属氯化物；
• 溶剂选择: 使用对副产的二烷基胺盐酸盐及金属氯化物溶解度高的非质子极性溶剂，和对二烷基氨基硅烷溶解度高、难溶解卤素化合物的直链/分支状烃；
• 精制: 进行精馏，获得卤素含量（氯）成分低的高品质二烷基氨基硅烷（如双(二乙基氨基)硅烷）。

现有技术问题: 现有专利及文献技术精制双(二乙基氨基)硅烷大多使用精馏方式，纯度难以超过99.99%。