4109-96-0 二氯硅烷

RTECS号:VV3050000，WGK Germany:1，危险品运输编码:UN 2189 2.3，危险类别:2.3

1.用于制造半导体，尤其是在外延法工艺中作为硅源，用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅，硅含量高、沉积温度低且速率可控；2.用于甲硅烷基化剂，及合成硅的有机化合物。

半导体; 有机硅合成

路线1：

• 步骤: 将硅粉和氯化氢按适当比例反应生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，精制得到电子级高纯二氯二氢硅成品。
• 条件: 无具体反应条件描述。

路线2：

• 步骤: 将27.1g SiHCl3与3.7g Bu3N在常压下回流40h，产物用干冰浴接收器收集。
• 条件: 常压回流40h，干冰浴收集。
• 收率: 7.3%。